混配气系统是由单路或多路质量流量计控制、混合连续供气,实现了气体的质量流量精密测量和控制;结合我司各种规格型号的管式炉、CVD系统及退火炉等对材料、气体流量的准确测量和控制,应用性强;具有混气均匀,控制精度高,数显直观,操作灵敏等优点。 | |
主要功能和特点: 1、质量流量计、流量显示仪分体式连接,便于操作及使用; 2、控制精度高,响应快,极低的零漂及温漂,良好的兼容性; 3、系统配有混气罐,可单路或多路配合进气; 4、每条气体管路均配有安全截止阀,确保系统的安全可靠; 5、流量控制器的规格型号可根据要求定制; 6、采用世伟洛克卡套接头连接,保证良好的密封性; 7、整体式炉架结构,搭配性能强,可放置我司各种规格型号的管式炉等; 8、可通过软件支持人机交互界面,操作简单方便; 9、预留真空系统位置,可选不同真空系统,组合搭配方便快捷。 | |
主要用途和适用范围: 用于高温气氛烧结、气氛还原、CVD/CVI实验等精密气体的流量控制。 | |
注意:严禁氢气和氧气同时供气,保证安全 | |
技术参数: | |
产品型号 | HQ-Z(通过欧盟CE认证,证书编号:4635230915/4636230915) |
炉体结构 | 双层炉架结构,预留真空系统,组合性强 |
控制方式 | 质量流量计配合流量显示仪 |
流量规格 | 0-500SCCM/0-1SLM(可根据客户需要配置) |
线性 | ±0.2%F.S. |
准确度 | ±1.5%F.S. |
重复精度 | ±1.5%F.S. |
响应时间 | ≤8sec |
耐压 | 3MPa |
气路通道 | 多通道(根据客户需求) |
混气罐 | SUS316不锈钢,尺寸:Φ100*200mm |
阀 门 | SUS316不锈钢卡套针阀 |
管 道 | Φ6mm无缝钢管管 |
接 口 | SwagelokΦ6mm |
尺寸和重量 | 设备:530*1200*850mm (深*宽*高);净重 kg |
标准配置 | 主机1台,说明书、合格证、保修卡各1份 |