真空热压烧结装置性能要求

设备型号 SML-1500

供电 三相五线制AC380V

设备总功率  ≤90kW，其中设备主体≤75kW,水冷机≤15kW

压缩空气 压力≥0.4MPa,流量≥20L/min,无油

冷水机供水  自来水，水压≥0.2MPaG,流量≥5m³/h 进出水接口G1寸

工作区尺寸 250mm*250mm*300mm(长*宽*深)

主体设备尺寸 2800mm*2000mm*2200mm(长*宽*高)

水冷机尺寸 1550mm*780mm*1335mm(长*宽*高)

最高加热温度 1400℃

最大升温速率 ≤15℃/min@室温-500℃; ≤10℃/min@500-1000℃; ≤5℃/min@1000-1400℃。

温场均匀性 ±5℃@900℃@1h

控温精度 ±1℃@900℃@10min

加热元件 钼镧合金

隔热屏 7层全金属，4层钼+3层不锈钢310s

控温元件 S型热电偶，一控一测

控温系统 PLC+触摸屏，自动控制系统

炉体 SML322,304不锈钢，双层水冷

极限真空度 ≤2.0×10-³Pa(空载、常温态非降温状态下，经净化)

工作真空度 ≤6.67×10-³Pa(空载、1000℃,经净化)

压升率 ≤0.5Pa/h(空载、常温态，经净化)

真空泵组 直联泵DRV-90  罗茨泵ZJP-150 扩散泵KT-300

抽气效率 常压抽到2.0×10-³Pa时，抽气时间≤60分钟(空载、冷 态、经净化)

数据监测 数显复合真空计

真空管道连接 金属波纹管

脱脂模式 定向载气脱脂

脱脂环境 真空/惰性气氛

脱脂盒 钼及钼合金

收集方式 经独立、专用脱脂管道，后导入冷凝罐冷凝收集

脱脂管道 具备电伴热保温功能，80-150℃可调节

冷凝罐 304材质，可拆卸、定期清理、更换

气体 Ar、He等保护性气体

流量控制 质量流量控制器.MFC

压力检测 上限≤0.03MPa。

压力传感器，自动压力控制(APC),上限可调节，到达 设定值后自动停止充气。

进水温度 ≤30℃

进水压力 ≤0.2MPa

进水介质 自来水

核心控制器 西门子PLC(SMART200) 温控表(欧陆3504)电流/电压表

操控触摸屏 昆仑通泰15寸

数据存储能力 20条工艺曲线，每条40步

铜排 国产优质紫铜

水冷机型号 HZ-10A，标准制冷量 22842kcal/h，输入总功率 10.2kW，进出水温度控 制 进水温度25~30℃ 出水温度35~38℃，电源 3PH~380V 50HZ(220V/415V/460V 50HZ/60HZ)

制冷剂 名称：R22(R410a/407c)，控制方式：外平衡式热力膨胀阀

压缩机 类型：全封闭涡旋式(活塞式)，功率：8.5KW

冷凝器 类型：高效紫铜管套防腐铝翅片式+低噪音外转子风机，冷却风量：10000m³h

蒸发器 类型：不锈钢盘管/板换，冷冻水量：4.9m³

水箱容量：160L，进出水管径：1-1/4”

水泵 功率：1.1kW，扬程：30m

安全保护 压缩机过热保护 过流保护

高低压力保护 超温保护

流量保护

相序/缺相保护 排气过热保护  防冻保护

机械尺寸 1335mm*780mm*1640mm(长宽高)

整机重量450kG