设备主要用途及优点

1、 主要用途：氟化物晶体生长

1、 主要优点或特点：

①、工艺满足性：根据客户工艺要求，结合我司成熟的相关设备经验，为用户定制化设备，并为客户持续提供改进和优化设备服务;

②、设备安全性：

A、设备安全：炉体加工，焊缝质量，法兰密封按质保大纲执行；

B、监测安全：设有系统监控画面，配有安全联锁保护功能，具有超温断电或保持，充气的压

力保护等；

C、第三方检测：可根据客户要求提供焊缝、仪表、热偶等第三方计量鉴定（选配）；

③、自动化程度：设备自动化程度高，可根据工艺设定程序自运行和安全互锁等功能;

④、质量等级：按优质设备配置，外形美观，结构合理，性能稳定可靠，使用寿命长，维护

保养方便，相关电气配件采用进口或国内一线品牌;

⑤、稳定性和维护：设备的加热、气路，控制系统等是模块化集成设计，便于维护和更换；

⑥、节能降耗生产效率：保温性能优越，智能调节功率输出；

⑦、设备结构合理：设计及制造符合相应的国家及行业标准和规范，操作和维修方便简捷，

可稳定、安全、可靠地满足生产需求；

主要技术参数 

产品名称 氟化物晶体生长炉

产品型号 SGYL-1700

设备结构 参照实物照片或方案图

炉体材质 双层水冷夹套结构，内筒体为 316L 不锈钢，外筒体为 316L 不锈钢

炉门锁紧 手轮锁紧

坩埚容量 

 1- 3 Kg 坩埚材质： （铂坩埚或石墨坩埚 ）

坩埚尺寸： φ 100 * 150 mm，(直径*高)（壁厚大约 2mm,以设计为准）

感应对象 坩埚

最高温度 最高温度 1700 ℃，连续工作温度≤ 1700 ℃

升温速度 开始升温:50 ℃/h，升温至 700℃左右，以 10℃/h 的速度直至料完全融化

测温元件 钨铼 型热电偶， 1 点控温， 1 点测温

极限真空度 6.7E-3Pa pa（空炉、冷态下）；压升率：≤ 2 Pa/h

工艺气体 

气体种类: 氮气、氩气、四氟化碳 

流量控制方式：质量流量计

水冷系统 电接点温度表+电接点水压表+支路温度流量监测，冷水需求：0.2~0.3MPa

专业 品质 服务 上海钜晶精密仪器制造有限公司 3 

报警及保护 

超温、缺水、异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁

保护系统

感应电源 电压 380 V；额定功率 约 60 KW（以设计为准）

控温精度 ±1 ℃

占地面积 约 2500 * 2200 * 2200 mm（长*宽*高）（含主机、控制柜，以实际为准）