性能指标：
主要用于铜系LTCC生瓷坯在湿氮气氛保护下，烧结为熟瓷的工艺过程
具体说明如下:
2.1烧结温度:最高温度1000℃，常用温度900-950℃;
2.2炉内气氛流量:不低于100L/min;
2.3氧含量:10ppm以下，配备氧分析仪，需提供设备出厂合格检验证书;
2.4流量计最大进气流量:不低于200L/min;
2.5水汽加湿范围:Wet20℃~80℃，配备露点分析仪，需提供设备出厂合格检验证书;
2.6设有气体取样口，可取样分析炉内氧含量、露点等炉内数据;
2.7升温速率:不低于500℃/h;
2.8最大装载尺寸:不低于300(L)x300(W)x250(H)mm;
2.9温度均匀性:保温阶段优于土5℃;
2.10控温精度:优于±1℃
2.11废气净化装置最高使用温度:不低于800℃;
2.12废气净化装置最大处理量:不低于50m/h;
2.13气氛烧结炉为湿氮气氛围;
2.14为炉体底部设有进气孔，气体进入加湿器加湿，顶部设有排气孔连接废气净化装置;
2.15设备需具备氧含量、露点控制功能，且可实时采样;
2.16 炉体升降方式为炉体固定，台车升降式，且配备有独立冷水机;
2.17产品周围有至少6个面加热;
2.18控制系统采用触摸屏+PLC控制方式;
2.19降温时有快速风冷装置，辅助降温;
2.20热电偶测温，并实时记录烧结曲线;
2.21设备具有超温(温控表控制)、短路、断路、接地、限流保护等功能;
2.22仪器、仪表的计量单位应全部采用国际单位(SI)标准;
2.23设备应具有坚固的支撑结构，以保证运行的精度和可靠性及良好的抗微振性;
2.24设备配备UPS电源(仅供仪表和控制系统紧急供电)
2.25可以记录生产数据，如温度、露点等信息，预留自动化数据采集能力。
