深耕高温技术，成就材料新突破
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设备主要技术参数
1.炉体结构 立式升降，底部出料方式
2.炉架平台 碳钢 Q235 材质
3.真空腔体 材质：316L 不锈钢材质，
规格：（80-100层以设计为准）外径约 φ2800mm*3700mm，
设计压力按照 1Bar 压力
4.装料量和料架 装料量：80-100 片泡沫镍（根据最终设计来定） 料架高度约 3.5m，料架材质 316L
泡沫镍准确规格φ2.5m*1.7mm，料架每层间距 30mm
5.加热元件 316L 材质的电加热管
6.炉衬 硅酸铝纤维保温材料
7.真空腔体工作温度 400℃ ，设计温度 500℃
8.炉盖密封 真空腔体盖有内格挡，采用双层氟胶密封圈
9.恒温区尺寸 约 φ2500*3330mm（80-100 层根据最终设计来定）
10.温度均匀性控制 在 400℃炉温均匀性约为±40℃ ,
11.升温速率 推荐≤5℃/min
12.真空腔体真空度要 求
6.67*10-1pa
13.真空系统 机械泵+罗茨泵
14.控温方式和精度 炉膛采用三段或更多段（以实际设计为准）控温方式，控温精度±1℃
15.釜内气氛 加热固体次亚磷酸钠释放PH3气体或管道通入PH3和N2 的混合气（PH3 浓度为 10%）
16.匀气装置 釜内增加立式多孔匀气管道，外部连通 PH3 气体输入端，通过气动阀 实现开闭功能。
17.风冷系统
通过外部鼓风机设备给焊接缠绕在压力容器外壁上的盘管内部鼓风 达到快速冷却真空腔体的效果。
18.温控系统
温度控制系统采用PLC 触摸屏人工智能调节技术，具有 PID 调节、自 整定功能，并可编制 30 段升降温程序。
19. 升降系统和
锁紧装置 1.四杆电动丝杠升降系统；
2.气动/电动齿圈锁紧装置（以压力容器厂家设计为准）
20.装（出）料系统 底部进出料（底部升降）
21.设备功率 约 400kW（以实际设计为准）
22.气体流量控制 1.炉子配置止回阀。
2.流量计和流量阀，控制 PH3 和 N2 混合气抽离真空腔体的流量大小。 （钜晶负责尾气阀门、管道预留接口，尾气处理装置由客户提供）
23.控制系统 PLC+触摸屏， 全自动控制系统，一键式操作；
24.釜内气体浓度监测 PH3 气体浓度监测传感器
25.尾气管道内气体浓 度监测 PH3 气体浓度监测传感器
26.PH3 气体泄露监测 增加 PH3 气体泄露监测仪
27．报警及保护 超温、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完 善的逻辑程序互锁保护系统。
28. 占地面积长×宽×高:约深：6m，宽 6m；高度 8.1m（含控制柜、真空泵、平台 梯架等）
复合材料热工设备
