客户案例 | 安徽四象半导体材料科技有限公司
合作产品：氧化铝陶瓷烧结设备

安徽四象半导体材料科技有限公司是专注于半导体刻蚀设备核心耗材研发与制造的科创企业，产品覆盖硅电极、硅环、碳化硅环、石英环等刻蚀关键部件，已批量导入国内头部晶圆制造企业供应链。随着产品线向陶瓷材料方向延伸及合肥总部基地产能建设推进，四象对氧化铝陶瓷部件的烧结工艺装备提出了更高要求。

上海钜晶为其提供的氧化铝陶瓷烧结设备，以良好的温度场均匀性保障陶瓷坯体收缩一致性，以多段温控与参数记录能力支撑烧结工艺的系统化验证与固化，以气氛管理能力满足半导体级陶瓷对炉内洁净度的要求。设备在四象陶瓷部件研发验证与向量产过渡的过程中，帮助其建立了可重复的烧结工艺基准，降低了烧结不良损耗与返工成本，为其刻蚀关键部件的国产化布局提供了可靠的装备支撑。