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氮化铝陶瓷氢气还原烧结设备(2000℃)
关 键 词:氮化铝,半导体,氧化铝,蚀刻机,湿氢,氢气还原,高温烧结,真空炉,氢气炉

型       号:SWSL-2000 Φ450*400mm (2309951)
品       牌:上海钜晶
发货周期:1-4个月
接受订制:可按要求定制
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招商专线:13818702256
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一、应用行业工艺信息

1、主要信息:

 

工艺名称

   真空气氛烧结

应用行业

半导体

工艺目的

氮化铝陶瓷高温烧结,达到导热率,提高电阻率

材料(零件)名称

氮化铝

工艺最高温度

1850

材料(零件)尺寸

     6-8英寸

工艺极限真空

6.67*10-1Pa

溶液(堆积)密度


工艺气体

氮气、氩气、氢气

一次性处理量

60KG

挥发物

取放料方式


氢气



关注重点和注意事项

1.氢气安全监测



 

2、客户工艺流程图/工艺流程步骤

 

二、设备主要用途及优点

1、 主要用途:主要用于氮化铝高温烧结,通纯氢气或者氮氢混合

2、 主要优点或特点: 

、工艺满足性:根据客户工艺要求,真空或者气氛下高温烧结可通纯氢气,氢气尾气燃烧、氢气实时监测,安全可靠,既能满足客户工艺需求又能节俭成本和使用空间。

、设备安全性:

A、 设备安全:设有系统监控画面、故障处理画面及帮助界面等,系统在运行中的各种数据能够随时查看、记录并打印。面板上的红色闪光指示灯用来显示各种报警功能,操作者根据提示可以立刻判断出报警的位置并处理。

B、监测安全:配有安全联锁保护功能,具有超温断电或保持,停水断电(延时停止加热、真空泵等),充气的压力保护及真空压力保护等。

C、第三方检测:可根据客户要求提供仪表、热偶、电气部件等质量保证文件,第三方计量鉴定等

、自动化程度:设备自动化程度高,一人即可完成生产作业,可根据工艺设定程序自运行和安全互锁等功能;

、质量等级:按优质设备配置,外形美观,结构合理,性能稳定可靠,使用寿命长,维护保养方便,相关电气配件采用进口或国内一线品牌;

、稳定性和维护:设备的加热、真空、气路,控制系统等是模块化集成设计,便于维护和更换。

、节能降耗生产效率:结构合理性能稳定。 

 


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