一、应用行业工艺信息
1、主要信息:
工艺名称 | 真空气氛烧结 | 应用行业 | 半导体 |
工艺目的 | 氮化铝陶瓷高温烧结,达到导热率,提高电阻率 | 材料(零件)名称 | 氮化铝 |
工艺最高温度 | 1850℃ | 材料(零件)尺寸 | 6-8英寸 |
工艺极限真空 | 6.67*10-1Pa | 溶液(堆积)密度 | |
工艺气体 | 氮气、氩气、氢气 | 一次性处理量 | 60KG |
挥发物 | 无 | 取放料方式 | |
尾 气 | 氢气 | ||
关注重点和注意事项 | |||
1.氢气安全监测 | |||
2、客户工艺流程图/工艺流程步骤
二、设备主要用途及优点
1、 主要用途:主要用于氮化铝高温烧结,通纯氢气或者氮氢混合
2、 主要优点或特点:
①、工艺满足性:根据客户工艺要求,真空或者气氛下高温烧结,可通纯氢气,氢气尾气燃烧、氢气实时监测,安全可靠,既能满足客户工艺需求又能节俭成本和使用空间。
②、设备安全性:
A、 设备安全:设有系统监控画面、故障处理画面及帮助界面等,系统在运行中的各种数据能够随时查看、记录并打印。面板上的红色闪光指示灯用来显示各种报警功能,操作者根据提示可以立刻判断出报警的位置并处理。
B、监测安全:配有安全联锁保护功能,具有超温断电或保持,停水断电(延时停止加热、真空泵等),充气的压力保护及真空压力保护等。
C、第三方检测:可根据客户要求提供仪表、热偶、电气部件等质量保证文件,第三方计量鉴定等
③、自动化程度:设备自动化程度高,一人即可完成生产作业,可根据工艺设定程序自运行和安全互锁等功能;
④、质量等级:按优质设备配置,外形美观,结构合理,性能稳定可靠,使用寿命长,维护保养方便,相关电气配件采用进口或国内一线品牌;
⑤、稳定性和维护:设备的加热、真空、气路,控制系统等是模块化集成设计,便于维护和更换。
⑥、节能降耗生产效率:结构合理性能稳定。