一、应用行业工艺信息
1、主要信息:
工艺名称 | 磷化炉 | 应用行业 | |
工艺目的 | 材料(零件)名称 | 泡沫镍 | |
工艺最高温度 | 500℃ | 材料(零件)尺寸 | |
工艺极限真空 | 6.67*10-1Pa | 溶液(堆积)密度 | |
工艺气体 | PH3和N2 | 一次性处理量 | 100片 |
挥发物 | 取放料方式 | ||
尾 气 | 磷化反应到结束,降到室温后再将PH3和N2气的混合气体抽出排入尾气处理装置进行燃烧处理。 | ||
关注重点和注意事项 | |||
1. 装料量:100片泡沫镍 | |||
2、腔体有效内径(不含盘管)2.5米 | |||
3、设备总高度不超过8米 | |||
4、由于生产过程涉及危险气体磷化氢,设备整个控制系统需集成在距离反应装置15m以上的主控室内放置,实现生产过程中的远程控制。 | |||